8 Inch 25 Slot Visual Metal Wafer Cassette Digunakan Dalam Industri Teknologi Kemasan Semikonduktor

8 Inch 25 Slot Visual Metal Wafer Cassette Digunakan Dalam Industri Teknologi Kemasan Semikonduktor

Dirancang dari paduan aluminium, kaset wafer logam menawarkan daya tahan yang tak tertandingi untuk penggunaan kamar bersih.

Fitur:

1. Aluminium dengan tahan haus, halus, lapisan keras.

2. tahan panas hingga 350 °C (Al).

3- Masuk dengan lancar.

4Desain sesuai dengan standar industri Semiconductor.

Aplikasi:

1Dalam lingkungan proses termal, wafer diproses dalam kaset pada suhu yang melebihi 110 ° F (43 ° C), batas atas ambang struktural khas untuk kaset proses plastik.

Ini termasuk Deposisi Uap Kimia (CVD), Pengolahan Termal Cepat (RTP), dan aplikasi penggilingan wafer.
Baking - Aplikasi baking termal jangka panjang di mana wafer perlu dibiarkan di oven selama beberapa hari.

2Peralatan proses di mana suhu sisipan wafer (wafer yang dikeluarkan dari alat proses) melebihi titik lebur dari kasus plastik.

Kebutuhan untuk throughput yang lebih tinggi mengurangi waktu untuk wafer untuk mendinginkan dan beradaptasi di ruang.

3. Internal Environment Cassettes - Cluster tool automation environments di mana kaset tidak aktif di lingkungan vakum yang dipanaskan (kamar) untuk beberapa langkah proses.

4Persyaratan Pengangkut Presisi - Lingkungan otomatis dalam suhu sedang membutuhkan akurasi dimensi yang tidak dapat disediakan kaset plastik.

Penanganan Wafer Ringan - Selama penanganan wafer tipis, wafer tipis tajam dipotong ke dalam kasus plastik.Wafer tebal - Aplikasi pengikat atau wafer tebal di mana kaset plastik standar industri tidak dapat digunakan karena ukuran slot.

Sesuai permintaan tersedia.

Konfigurasi khusus tersedia (jumlah pesanan minimum mungkin berlaku): EN plating nikel elektroless pada profil aluminium untuk aplikasi vakum tinggi;slot profil datar untuk wafer tipis atau tebal; pegangan dinding ujung; dan konfigurasi h-bar ganda untuk pengolahan wafer belakang.

Parameter teknis:

1Proses Kotak Aluminium: (Al, HC) 8 ′′ - 25 Slot, Slant Slot (Standar).
2. Ukuran: pilih ukuran penutup (atas), penutup (bawah), kustom H-BAR (bawah), H-BAR (atas).
3Aluminium, tahan abrasi, halus, lapisan keras.
4. alur halus dan bentuk Sekrup ventilasi vakum.
5Dirancang untuk standar SEMI.

Kemasan dan Pengiriman:

1. Batas berat badan
Berat total satu bungkus tidak boleh melebihi 25 kg.
Nyaman untuk memuat dan mengunggah, memenuhi kapasitas muat dari berbagai alat transportasi.
 

2Spesifikasi ukuran
Ukuran karton harus kurang dari 1,5 meter kubik.
Karton plastik, drum baja, dan dimensi lainnya sesuai dengan ukuran sebenarnya dari barang yang akan ditentukan.
Memastikan bahwa kemasan dapat dimuat dengan lancar ke dalam kontainer, kabin kargo pesawat, dll.
 

3. Pengelolaan Dokumen
Siapkan bill of lading, faktur, daftar kemasan, dan dokumen lain yang diperlukan.
Informasi dokumentasi lengkap dan akurat, konsisten dengan barang yang sebenarnya.